掃描電鏡高溫力學原位系統

我們的優勢

力學性能

1．高精度壓電陶瓷驅動，納米級別精度數字化精確定位。

2．實現1200℃加熱條件下壓縮、拉伸、彎曲等微觀力學性能測試。

3．業界nN級力學測量噪音。

4．具備連續的載荷-位移-時間數據實時自動收集功能。

5．具備恒定載荷、恒定位移、循環加載控制功能，適用于材料的蠕變特性、應力松弛、疲勞性能研究。

優異的熱學性能

1．高精密紅外測溫校正，微米級高分辨熱場測量及校準，確保溫度的準確性。

2．兩電極的超高頻控溫方式，排除導線和接觸電阻的影響，測量溫度和電學參數更精確。

3．采用高穩定性貴金屬加熱絲（非陶瓷材料），既是熱導材料又是熱敏材料，其電阻與溫度有良好的線性關系，加熱區覆蓋整個觀測區域，升溫降溫速度快，熱場穩定且均勻，穩定狀態下溫度波動≤±0.1℃。

4．采用閉合回路高頻動態控制和反饋環境溫度的控溫方式，高頻反饋控制消除誤差，控溫精度±0.01 ℃。

5．多級復合加熱MEMS芯片設計，控制加熱過程熱擴散，極大抑制升溫過程的熱漂移，確保實驗的高效觀察。

智能化軟件

1．人機分離，軟件遠程控制納米探針運動和樣品載臺傾轉，自動測量載荷-位移數據。

2．自定義程序升溫曲線?？啥x10步以上升溫程序、恒溫時間等，同時可手動控制目標溫度及時間，在程序升溫過程中發現需要變溫及恒溫，可即時調整實驗方案，提升實驗效率。

3．內置絕對溫標校準程序，每塊芯片每次控溫都能根據電阻值變化，重新進行曲線擬合和校正，確保測量溫度精確性，保證高溫實驗的重現性及可靠性。

技術參數

應用案例

600°C高溫下銅納米柱力學壓縮實驗