通過MEMS芯片對液體薄層或納米電池系統施加電信號等，結合EDS、EELS、SAED、HRTEM、STEM等多種不同模式，實現從納米甚至原子層面實時、動態監測電極、電解液及其界面在工況下的微觀結構演化、反應動力學、相變、元素價態、化學變化、微觀應力以及表/界面處的原子級結構和成分演化等關鍵信息。

采用MEMS微加工工藝在原位樣品臺內構建液氛納米實驗室，通過MEMS芯片加熱，結合使用EDS、EELS、SAED、HRTEM、STEM等多種不同模式，實現從納米甚至原子層面實時、動態監測樣品在液氛環境中隨溫度變化產生的微觀結構演化、反應動力學、相變、元素價態、化學變化、微觀應力以及表/界面處的原子級結構和成分演化等關鍵信息。

采用MEMS微加工工藝在原位樣品臺內構建液氛納米實驗室，通過樣品臺內置的光纖將光作為外場條件搭載其上，通過MEMS芯片和光纖引入的光源對樣品施加光場刺激條件，在進行光學性質測量的同時，結合使用EDS、EELS、SAED、HRTEM、STEM等多種不同模式，實現從納米甚至原子層面實時、動態監測樣品在液氛環境中隨光場變化產生的微觀結構演化、反應動力學、相變、元素價態、化學變化、微觀應力以及表/界面處的

通過MEMS芯片對薄層或納米電池系統施加電信號等，結合EDS等多種不同模式，實現從納米層面實時、動態監測電極、電解液及其界面在工況下的微觀結構演化、反應動力學、相變、化學變化、表/界面處的結構和成分演化等關鍵信息。

通過MEMS芯片在原位樣品臺內構建熱、電復合多場自動控制及反饋測量系統，結合EDS、EELS、SAED、HRTEM、STEM等多種不同模式，實現從納米甚至原子層面實時、動態監測樣品在真空環境下隨溫度、電場變化產生的微觀結構、相變、元素價態、微觀應力以及表/界面處的原子級結構和成分演化等關鍵信息。

TEM三維重構樣品臺通過一系列的不同傾斜角獲得樣品的二維成像信息,并對其進行處理轉化為三維信息，該樣品臺可直接組裝直徑3 mm的銅網樣品，不僅可進行樣品的三維重構，還可用于樣品材料的掃描透射模式下高角環形暗場成像（HAADF-STEM）的高分辨分析。